光纖MEMS加速度計/傾角儀
產品型號：ZHJSJ-MA
ZHJSJ-MA光纖MEMS加速度計是一種單分向的寬頻帶加速度傳感器，是建立在微米/納米技術（micro/nanotechnology）基礎上的21世紀前沿技術，它將加速度檢測質量塊、彈性支撐體、光學反射微鏡、光入射及出射波導直接集成在一個微小的芯片上，真正實現了對加速度信號的全光檢測，具有探頭和傳輸線路不供電、抗電磁干擾、動態范圍大、體積小巧、遠距離光信號傳輸等諸多優點。
MEMS光纖加速度計工作原理
ZHJSJ-MA光纖MEMS加速度計靈敏度高，動態范圍大、線性度好、低頻從0Hz開始，具有平坦的頻率特性響應、相位呈線性變化，技術參數一致性好、性能穩定可靠。
ZHJSJ-MA光纖MEMS加速度計廣泛應用于地震監測、建筑橋梁健康監測與測試、工業系統結構監測與測試、旋轉機電設備振動監測與故障診斷、艦船振動噪聲分析、海洋平臺結構監測等領域。
微型化封裝 三軸正交集成封裝（極低橫向靈敏度）
技術參數：
用途 | 傾角測量，低頻振動 | 機械結構振動監測 | 機電設備振動故障診斷 | |||
型號 | ZHJSJ-MA02 | ZHJSJ-MA10 | ZHJSJ-MA50 | ZHJSJ-MA100 | ||
量程 | ±2g | ±10g | ±50g | ±100g | ||
標度因素 | 10nm@2g | 10nm@10g | 10nm@50g | 10nm@100g | 3nm@100g | |
分辨率 | 100ug | 1mg | 5mg | 10mg | 33mg | |
頻響范圍（1dB） | 0～220Hz | 0～560Hz | 0～1500Hz | 0～2000Hz | 0～5000Hz | |
工作溫度 | 常溫型 | -55～85℃ | ||||
寬溫型 | -80～200℃ | |||||
傳輸距離 | 10km | |||||
系統連接組網圖：
ZHJSJ-MA光纖MEMS加速度計/傾角儀可采用波長信號解調儀進行同步動態采集，每個通道可用光纖分路器接入1～2只MEMS光纖加速度計。
MEMS光纖加速度計組網連接圖
MEMS光纖加速度計幅頻特性：
MEMS光纖加速度計按照三分之一倍頻程測試，能夠無失真還原振動波形。
MEMS光纖加速度計頻響特性：
以ZHJSJ-MA10 型號的MEMS光纖加速度計為例，從0Hz～500Hz頻響曲線非常平坦： 振動臺激振頻點為6.3Hz、8Hz、10Hz、12.5Hz、16Hz、20Hz、25Hz、31.5Hz、40Hz、50Hz、63Hz、80Hz、100Hz、125Hz、160Hz、200Hz、250Hz、315Hz、400Hz、500Hz。振動臺激勵幅值為1g。
ZHJSJ-MA10 型號的MEMS光纖加速度計頻響特性
